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说明及特点:
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接液部分依据SEMI F19标准电抛光,接头表面粗糙度Ra≤0.25μm
100%氦检漏测试,并在洁净等级为100的室内完成真空包装
产品精度最高为A级 (依据ASME B40.1)
多种VCR接头可选,包括内螺纹,外螺纹
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应用范围:
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OEM设备配套
半导体
太阳能光伏
特种气体
产品精度: B级 表盘尺寸1.5″
A级 表盘尺寸2″
压力范围: 0…15psi – 0…6000psi (含真空)
最大耐压: 稳定压力:3/4满量程
波动压力:2/3满量程
瞬间压力:满量程
表盘尺寸: 1.5″ 或 2″
温漂系数: 最大0.4%FS/10℃ (参考20℃)
氦检漏测试: <1*10-9 mbar L/S
环境温度: -40 … +60 °C
介质温度: -40 … +100℃
防护等级: IP54
街头材质: 316LSS
表壳材质: 304SS, 电抛光
过程接口: 9/16″-18UNF(1/4″VCR) 内螺纹,外螺纹
接液粗糙度: Ra≤0.25μm(接头部分)
Ra≤0.3μm(弹簧管焊接部分)
开关类型(可选):SPST